擴散爐多點熱電偶
擴散爐是半導體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，在高溫條件下對半導體晶圓進行摻雜，即將磷、硼等元素擴散入硅片，從而改變和控制半導體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布情況，以建立不同的電特性區(qū)域。而擴散爐專用熱電
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Description
擴散爐是半導體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，在高溫條件下對半導體晶圓進行摻雜，即將磷、硼等元素擴散入硅片，從而改變和控制半導體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布情況，以建立不同的電特性區(qū)域。而擴散爐專用熱電偶特別應(yīng)用于光伏行業(yè)的多晶硅鑄錠爐和半導體擴散爐，且采用多點同時測量爐內(nèi)整段溫度，為擴散爐的準確控制爐溫均勻性提供了有力的保障。多點熱電偶用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結(jié)構(gòu)被廣泛的應(yīng)用于擴散爐內(nèi)熱偶的制造中。
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